발명의 명칭 :
포토마스크 기판의 수정 방법, 포토마스크 기판의 제조 방법, 포토마스크 기판의 처리 방법, 포토마스크의 제조 방법 및 기판 처리 장치
| 출원인 | 호야가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190116096 | 출원일 | 2019.09.20 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 야마구찌, 노보루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 호야가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190116096 | 출원일 | 2019.09.20 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 야마구찌, 노보루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||