발명의 명칭 :
티타늄 나이트라이드 및 알루미늄 막들의 통합 증착에 의한 도핑 엔지니어링 및 임계 전압 튜닝을 위한 방법들 및 장치
| 출원인 | 어플라이드머티어리얼스,인코포레이티드 | ||
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| 출원번호 | 1020197031395 | 출원일 | 2018.08.20 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 양, 이슝|마, 폴, 에프.|탕, 웨이, 브이.|장, 웬유|첸, 시, 청|린, 첸, 한|린, 치-츄|쑤, 이|레이, 유|요시다, 나오미|동, 린|크리슈난, 시다스 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||