발명의 명칭 :

통합 에피택시 시스템 고온 오염물 제거

출원인어플라이드머티어리얼스,인코포레이티드
출원번호1020207008637출원일2018.08.29
후속절차: 마감일발명자하우릴착, 라라|로, 킨 퐁|산체스, 에롤 씨.
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태