발명의 명칭 :
진공 성막 장치와 진공 성막 방법
| 출원인 | 스미토모긴조쿠고잔가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200059527 | 출원일 | 2020.05.19 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 오카미 히데하루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 스미토모긴조쿠고잔가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200059527 | 출원일 | 2020.05.19 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 오카미 히데하루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||