발명의 명칭 :
증발원 장치, 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
| 출원인 | 캐논톡키가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190168646 | 출원일 | 2019.12.17 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 스가와라 유키|카자마 요시아키 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 캐논톡키가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190168646 | 출원일 | 2019.12.17 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 스가와라 유키|카자마 요시아키 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||