발명의 명칭 :
웨이퍼 퍼지형 선반 어셈블리 및 그를 구비하는 버퍼 모듈
| 출원인 | 크린팩토메이션주식회사 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180115097 | 출원일 | 2018.09.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 윤준필|장재원 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 크린팩토메이션주식회사 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180115097 | 출원일 | 2018.09.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 윤준필|장재원 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||