발명의 명칭 :

원자층 증착 장치

출원인주식회사엘지에너지솔루션
출원번호1020200005226출원일2020.01.15
후속절차: 마감일발명자박상준|김기환|이은정
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태