발명의 명칭 :
얼라인먼트 시스템, 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스 제조방법
| 출원인 | 캐논톡키가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180171336 | 출원일 | 2018.12.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 카네우치 마사노부 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 캐논톡키가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180171336 | 출원일 | 2018.12.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 카네우치 마사노부 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||