발명의 명칭 :
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
| 출원인 | 에이에스엠아이피홀딩비.브이. | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200021957 | 출원일 | 2020.02.24 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 쉬로 에릭 제임스|마 폴|샤르마 베드 프라사드|스와미나탄 샨카르 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 에이에스엠아이피홀딩비.브이. | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200021957 | 출원일 | 2020.02.24 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 쉬로 에릭 제임스|마 폴|샤르마 베드 프라사드|스와미나탄 샨카르 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||