발명의 명칭 :
세정액, 및 금속 레지스트를 구비한 지지체의 세정 방법
출원인 | 도오꾜오까고오교가부시끼가이샤 | ||
---|---|---|---|
출원번호 | 1020200041794 | 출원일 | 2020.04.06 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 구마가이 도모야|아키요시 다카히로 | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |
발명의 명칭 :
출원인 | 도오꾜오까고오교가부시끼가이샤 | ||
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출원번호 | 1020200041794 | 출원일 | 2020.04.06 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 구마가이 도모야|아키요시 다카히로 | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |