발명의 명칭 :
세라믹스 기체 및 서셉터
IPC 분류:
C04B 35/117(2006.01)|H01L 21/20(2006.01)|H01L 21/3065(2006.01)|H01L 21/683(2006.01)
출원번호:
10-2020-7027586
출원일자:
2019.03.28
출원인:
스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤(일본국 도쿄도 미나토쿠 히가시신바시 *쵸메 *반 *고)
등록번호:
등록일자:
공개번호:
1020200136922
공개일자:
2020.12.08
발명자:
고사카이 마모루(일본국 도쿄도 지요다구…)|히다카 노부히로(일본국 도쿄도 지요다구…)|기무라 나오토(일본국 도쿄도 지요다구…)|구기모토 히로노리(일본국 도쿄도 지요다구…)
대리인:
특허법인(유)화우(서울특별시 강남구 영동대로 *** ,**층 (삼성동, 트레이드타워))