발명의 명칭 :
선택적으로 막을 형성하는 방법 및 시스템
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190073307 | 출원일 | 2019.06.20 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 아즈모, 슈지 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190073307 | 출원일 | 2019.06.20 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 아즈모, 슈지 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||