발명의 명칭 :
복합 소결체, 정전 척 부재 및 정전 척 장치
| 출원인 | 스미토모오사카세멘토가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020197034786 | 출원일 | 2018.06.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 히다카 노부히로|구기모토 히로노리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 스미토모오사카세멘토가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020197034786 | 출원일 | 2018.06.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 히다카 노부히로|구기모토 히로노리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||