발명의 명칭 :

미세 금속 마스크 및 이를 이용한 초극자외선 리소그라피용 펠리클의 제조방법

출원인주식회사에프에스티
출원번호1020190028176출원일2019.03.12
후속절차: 마감일발명자서경원|김경수|문성용|김지강|유장동
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태