발명의 명칭 :

리소그래피 장치 및 측정 수행 방법

출원인에이에스엠엘네델란즈비.브이.
출원번호1020207027969출원일2016.12.07
후속절차: 마감일발명자덴 보에프, 아리에, 제프리|마티센, 시몬, 기스베르트, 요세푸스|린, 난|루볼, 샌더, 바스
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태