발명의 명칭 :
레지스트 조성물, 레지스트 패턴 형성 방법, 및 화합물
| 출원인 | 도오꾜오까고오교가부시끼가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190157278 | 출원일 | 2019.11.29 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이케다 다쿠야|미야카와 준이치 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 도오꾜오까고오교가부시끼가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190157278 | 출원일 | 2019.11.29 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이케다 다쿠야|미야카와 준이치 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||