발명의 명칭 :
기판 처리 장치 및 방법
| 출원인 | 세메스주식회사 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180110028 | 출원일 | 2018.09.14 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이복규|김희환|이지영|이재명 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 세메스주식회사 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180110028 | 출원일 | 2018.09.14 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이복규|김희환|이지영|이재명 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||