발명의 명칭 :
기판 처리 장치
| 출원인 | 가부시키가이샤아루박 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200043235 | 출원일 | 2020.04.09 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 에토, 켄지|오카야마, 사토히로|카메사키, 코지|아베, 요이치 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 가부시키가이샤아루박 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200043235 | 출원일 | 2020.04.09 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 에토, 켄지|오카야마, 사토히로|카메사키, 코지|아베, 요이치 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||