발명의 명칭 :
기판 처리 방법 및 기판 처리 장치
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200009876 | 출원일 | 2020.01.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 미즈노 히데키|스즈키 요시노리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200009876 | 출원일 | 2020.01.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 미즈노 히데키|스즈키 요시노리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||