발명의 명칭 :

기판 지지 장치

출원인제이텍트써모시스템코퍼레이션
출원번호1020200003038출원일2020.01.09
후속절차: 마감일발명자후쿠니시 유타|오노데라 가쓰야|니시오카 마사히로
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태