발명의 명칭 :

기판 상에 전이 금속 함유 막을 주기적 증착 공정에 의해 형성하는 방법

출원인에이에스엠아이피홀딩비.브이.
출원번호1020200003335출원일2020.01.09
후속절차: 마감일발명자하딴뻬에 띠모|베이리넨 까뜨야|리딸라 미꼬|레스껠레 마르꾸
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태