발명의 명칭 :
기판처리방법, 기판처리장치 및 그를 가지는 기판처리시스템
| 출원인 | 주식회사원익아이피에스 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180133468 | 출원일 | 2018.11.02 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 오영택 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 주식회사원익아이피에스 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020180133468 | 출원일 | 2018.11.02 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 오영택 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||