발명의 명칭 :

그래핀 구조체를 형성하는 방법 및 장치

출원인도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호1020207030747출원일2019.03.01
후속절차: 마감일발명자이후쿠, 료타|마츠모토, 다카시
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태