발명의 명칭 :
결정 방법, 노광 방법, 노광 장치, 및 물품제조 방법
| 출원인 | 캐논가부시끼가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190158678 | 출원일 | 2019.12.03 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 홈마 히데아키|장 큐|키지마 와타루|네야 히사토시|타키구치 아츠시 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 캐논가부시끼가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190158678 | 출원일 | 2019.12.03 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 홈마 히데아키|장 큐|키지마 와타루|네야 히사토시|타키구치 아츠시 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||