발명의 명칭 :

세정액, 및 금속 레지스트를 구비한 지지체의 세정 방법

출원인도오꾜오까고오교가부시끼가이샤
출원번호1020200041794출원일2020.04.06
후속절차: 마감일발명자구마가이 도모야|아키요시 다카히로
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태