발명의 명칭 :
통합 에피택시 시스템 고온 오염물 제거
출원인 | 어플라이드머티어리얼스,인코포레이티드 | ||
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출원번호 | 1020207008637 | 출원일 | 2018.08.29 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 하우릴착, 라라|로, 킨 퐁|산체스, 에롤 씨. | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |
발명의 명칭 :
출원인 | 어플라이드머티어리얼스,인코포레이티드 | ||
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출원번호 | 1020207008637 | 출원일 | 2018.08.29 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 하우릴착, 라라|로, 킨 퐁|산체스, 에롤 씨. | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |