발명의 명칭 :

기판세정장치 및 이의 설치방법

출원인주식회사디엠에스|주식회사태광소재
출원번호1020180112655출원일2018.09.20
후속절차: 마감일발명자박용석|김성택|윤정혜
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태