발명의 명칭 :

디바이스 제작에서의 금속 하드마스크 형성 시스템들 및 방법들

출원인어플라이드머티어리얼스,인코포레이티드
출원번호1020207028098출원일2019.03.01
후속절차: 마감일발명자민, 샤오콴|쿨슈쉬타, 프라샨트 쿠마르|이, 광덕 더글라스|프라바카, 비나이 케이.
이전절차 : 일자이전절차 경과일
최근절차 : 일자
현재상태