발명의 명칭 :
플라즈마 처리 장치 및 제어 방법
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190176574 | 출원일 | 2019.12.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 히사토미 류지|고시미즈 치시오|사이토 미치시게 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190176574 | 출원일 | 2019.12.27 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 히사토미 류지|고시미즈 치시오|사이토 미치시게 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||