발명의 명칭 :
미세 금속 마스크 및 이를 이용한 초극자외선 리소그라피용 펠리클의 제조방법
| 출원인 | 주식회사에프에스티 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190028176 | 출원일 | 2019.03.12 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 서경원|김경수|문성용|김지강|유장동 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 주식회사에프에스티 | ||
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| 출원번호 | 1020190028176 | 출원일 | 2019.03.12 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 서경원|김경수|문성용|김지강|유장동 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||