발명의 명칭 :
기판 지지 장치
출원인 | 제이텍트써모시스템코퍼레이션 | ||
---|---|---|---|
출원번호 | 1020200003038 | 출원일 | 2020.01.09 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 후쿠니시 유타|오노데라 가쓰야|니시오카 마사히로 | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |
발명의 명칭 :
출원인 | 제이텍트써모시스템코퍼레이션 | ||
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출원번호 | 1020200003038 | 출원일 | 2020.01.09 |
후속절차: 마감일 | 발명자 | 후쿠니시 유타|오노데라 가쓰야|니시오카 마사히로 | |
이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
최근절차 : 일자 | |||
현재상태 |