키브

발명의 명칭 :

하전 입자 현미경을 사용한 샘플 검사 방법

IPC 분류:

H01J 37/244(2006.01)|H01J 37/20(2006.01)|H01J 37/22(2006.01)|G01N 23/2251(2018.01)

출원번호:

1020200058886

출원일자:

2020.05.18

출원인:

에프이아이 컴파니(미국 오리건 ***** 힐스보로 엔이 도슨 크릭 드라이브 ****)

등록번호:

등록일자:

1020200138659

공개번호:

1020200138659

공개일자:

2020.12.10

발명자:

클루사체크 얀(네덜란드 * 비에스 에인트호번 피…)|투마 토마시(네덜란드 * 비에스 에인트호번 피…)|페트르제크 이르지(네덜란드 * 비에스 에인트호번 피…)

대리인:

리앤목특허법인(서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔))