발명의 명칭 :
패턴을 층에 전사하기 위한 방법
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020207027547 | 출원일 | 2019.02.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 기쿠치 유키|와다 도시하루|마에카와 가오루|고 아키테루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020207027547 | 출원일 | 2019.02.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 기쿠치 유키|와다 도시하루|마에카와 가오루|고 아키테루 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||