발명의 명칭 :
결함 억제를 향상시킨 산 폴리싱 조성물 및 기판 폴리싱 방법
| 출원인 | 듀폰일렉트로닉머티리얼스홀딩,인코포레이티드 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200009888 | 출원일 | 2020.01.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 위 구오|데이비드 모슬리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 듀폰일렉트로닉머티리얼스홀딩,인코포레이티드 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200009888 | 출원일 | 2020.01.28 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 위 구오|데이비드 모슬리 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||