발명의 명칭 :
EUV 노광 장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 제조 방법
| 출원인 | 삼성전자주식회사 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020190051619 | 출원일 | 2019.05.02 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 배근희|박진홍|허진석|고희영|홍성철 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 삼성전자주식회사 | ||
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| 출원번호 | 1020190051619 | 출원일 | 2019.05.02 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 배근희|박진홍|허진석|고희영|홍성철 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||