발명의 명칭 :
플라즈마 처리 장치용 부재, 그 부재를 구비하는 플라즈마 처리 장치, 및 소결체의 사용 방법
| 출원인 | 니혼텅스텐가부시키가이샤|도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020200035849 | 출원일 | 2020.03.24 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이케다 다카시|이시이 하지메|후지모토 겐지|사토 나오유키|나가야마 노부유키|무라카미 고이치|무라카미 다카히로 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 니혼텅스텐가부시키가이샤|도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | ||
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| 출원번호 | 1020200035849 | 출원일 | 2020.03.24 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 이케다 다카시|이시이 하지메|후지모토 겐지|사토 나오유키|나가야마 노부유키|무라카미 고이치|무라카미 다카히로 | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||