발명의 명칭 :
기판 어셈블리, 기판 홀더 어셈블리 및 프로세싱 장치
| 출원인 | 베리안세미콘덕터이큅먼트어소시에이츠,인크. | ||
|---|---|---|---|
| 출원번호 | 1020207027505 | 출원일 | 2019.01.25 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 월리스, 제이 알.|러펠, 사이먼|앤글린, 케빈|락웰, 타일러|캠프벨, 크리스토퍼|대니얼스, 케빈 엠.|허텔, 리차드 제이. | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||
발명의 명칭 :
| 출원인 | 베리안세미콘덕터이큅먼트어소시에이츠,인크. | ||
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| 출원번호 | 1020207027505 | 출원일 | 2019.01.25 |
| 후속절차: 마감일 | 발명자 | 월리스, 제이 알.|러펠, 사이먼|앤글린, 케빈|락웰, 타일러|캠프벨, 크리스토퍼|대니얼스, 케빈 엠.|허텔, 리차드 제이. | |
| 이전절차 : 일자 | 이전절차 경과일 | ||
| 최근절차 : 일자 | |||
| 현재상태 | |||